NCS-R80 无接触厚度电阻率测试仪是一款用于硅片的厚度、电阻率测量的专业仪器,该仪器适用于Si,GaAs,Ge等几乎所有的材料,所有的设计都符合标准,确保与其他工艺仪器的兼容与统一。
特征
■无接触无损伤测量
■电阻率和厚度同时测量
■适用的晶圆材料包括Si,GaAs,Ge等几乎所有的材料
■电脑触摸屏显示
■抗干扰强,稳定性好
■强大的工控机控制和大屏幕显示
■一体化设计操作更方便,系统稳定
■为晶圆硅片关键生产工艺提供确的无接触测量