HS-PSTT原生多晶及硅芯型号测试仪是一款高端半导体材料型号测试仪器,具有大量程测试范围的特点,尤其适用于西门子法原生硅料生产企业的高阻硅料(含硅芯、检磷棒、检硼棒等)以及各种低阻硅料型号测量,型号电阻率测量范围为0.0001~19999Ω·cm,涵盖了目前半导体及太阳能级硅料生产企业的各种硅料的型号测量要求。
产品特点
■ 适用于西门子法、硅烷法等工艺生产原生多晶硅料的企业
■ 适用于物理提纯生产多晶硅料生产企业
■ 适用于光伏拉晶铸锭及半导体器件企业
■ 适用于科研部门、高等院校及需要超大量程测量硅锗型号的企业
■ 测量范围广,硅型号电阻率测量范围为0.0001~19999Ω·cm
■ 可判别锗型号,电阻率范围为104~103Ω·cm
■ 可判别从高阻单晶到重掺单晶几乎所有非本征半导体材料型号
■ 仪表指针和液晶数字两种显示有机结合,保证型号检测万无一失
■ 具有灵敏度表设置,保证高阻硅材料型号的准确测量
■ 综合了热电法和整流法两种测试型号的方法,是半导体材料型号测量的万用表
■ 冷热笔和三探针经久耐用,极大降低测试成本
■ 具有稳定性好、结构紧凑、使用方便等特点
■ 采用进口元器件,留有更大的安全系数,大大提高了测试仪的可靠性和使用寿命
■ 具有抗强磁场和抗高频设备的性能
推荐工作条件
■ 温度:23±2℃
■ 湿度:≤65%
■无较强的电场干扰,电源隔离滤波,无强光直接照射
技术指标
■ 可判别硅型号电阻率范围:10-4~104Ω·cm
■ 可判别锗型号电阻率范围:104~103Ω·cm
■ 锗、硅单晶直径及长度:不受限制